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选用世界抢先的工业化级的水冷半导体泵浦355nm紫外激光器作为光源,经过扩束、聚集后取得精密聚集光斑,辅以高精度的两维直线电机工作台及直驱旋转渠道,专用 CCD监督定位。选用紫外激光“冷光源”,具有切开热影响区域小,无机械应力效果,晶粒切开成品率高,切开后芯片电学性能参数优于砂轮刀片切开等特色。
契合日本规范。与机床主轴直接衔接,刚性好,精度高。适用于盘类零件的精加工,还可夹持较小棒料。配带软卡爪。
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